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J-GLOBAL ID：200903024615580262

走査形電子顕微鏡

Inventor： 戸所 秀男 ,  久保 俊男 ,  寺門 貞夫 ,  大高 正
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000296397
Publication number (International publication number)：2001148232
Application date： Apr. 26, 1994
Publication date： May. 29, 2001
Summary：

【要約】【目的】 半導体素子の表面と内部の観察を同一の装置で行い、検査の迅速化と微細化対応を図る。【構成】 走査形電子顕微鏡の加速電源18、20を切り替えて照射電子ビーム15のエネルギーを半導体試料25を帯電することなく観察できる低エネルギー領域と高エネルギー領域の両領域に切り替えできるようにし、半導体プロセス検査で必要な表面観察と内部観察の両機能が得られるようにした。

Claim (excerpt)：

電子源と、前記電子源より放出された電子ビームを試料に照射して得られた二次信号を検出する検出器とを備えた走査形電子顕微鏡において、前記検出器より前記電子源側に、前記電子ビームの通過開口を有する導電部材を備えてなることを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (4)：

H01J 37/28 ,  G01B 15/00 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/244

FI (4)：

H01J 37/28 B ,  G01B 15/00 B ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/244

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭62-234859
  
• 電子ビーム検査方法とそのシステム
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-124951   Applicant：日本ケー・エル・エー株式会社
• 走査電子顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-092441   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭60-047358