Pat
J-GLOBAL ID：200903024771876309

自動焦点合わせ装置

Inventor：
三田村 茂宏

About 三田村 茂宏


Applicant, Patent owner：
株式会社島津製作所

About 株式会社島津製作所


Agent (1)： 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998355926
Publication number (International publication number)：2000182555
Application date： Dec. 15, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：
【要約】【課題】 自動焦点合わせ装置において、焦点合わせに要する時間を短縮し、焦点合わせの精度を高める。【解決手段】 自動焦点合わせ装置1、焦点位置の検出精度を異にする評価手段11,12を備え、これらの評価手段を組み合わせて焦点合わせを行う。焦点位置の検出精度が粗の評価手段11、焦点位置を広い範囲で検索して得られる評価値を用いて短時間で粗い焦点合わせを行い、焦点位置の検出精度が精の評価手段12は、粗の評価手段11で得られた焦点位置の近傍を狭範囲で検索して得られる評価値を用いて、高精度で焦点合わせを行う。特性の異なる評価値を組み合わせることによって、焦点合わせに要する時間を短縮すると共に、焦点合わせの精度を高める。
Claim (excerpt)：
画像データに基づいて得られる評価値を用いて焦点合わせのパラメータを変更して焦点合わせを行う自動焦点合わせ装置であって、焦点位置の検出精度を異にする評価手段を複数備え、焦点位置の検出精度が粗の評価手段は、広範囲で評価値を得て粗の焦点合わせを行い、焦点位置の検出精度が精の評価手段は、粗の評価手段で得られた焦点位置の近傍において狭範囲で評価値を得て焦点合わせを行う、自動焦点合わせ装置。
IPC (4)：
H01J 37/21 ,  G02B 7/28 ,  G03F 7/207 ,  H01L 21/027
FI (7)：
H01J 37/21 A ,  H01J 37/21 B ,  H01J 37/21 Z ,  G03F 7/207 H ,  G02B 7/11 M ,  G02B 7/11 N ,  H01L 21/30 541 F
F-Term (18)：
2H051AA10 ,  2H051AA11 ,  2H051BA47 ,  2H051CE14 ,  2H051CE21 ,  2H051DA26 ,  2H051DD20 ,  2H051FA47 ,  2H051FA48 ,  5C033LL03 ,  5C033MM03 ,  5F056AA01 ,  5F056BA06 ,  5F056BB10 ,  5F056BC05 ,  5F056CA02 ,  5F056CB32 ,  5F056EA05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 特開昭56-041663
  • 自動焦点調整方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-284877   Applicant：株式会社ニコン
  • 合焦位置検出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-209798   Applicant：株式会社ニコン
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM