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J-GLOBAL ID：200903024786464864

電子ビーム検出方法、走査型電子顕微鏡の電子ビーム検出方法、走査型電子顕微鏡の寸法校正方法、電子ビーム検出装置、走査型電子顕微鏡の寸法校正装置

Inventor： 桑原 和幸 ,  小野寺 俊雄 ,  内田 登
Applicant, Patent owner： 沖電気工業株式会社
Agent (1)： 大垣 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996301824
Publication number (International publication number)：1998144248
Application date： Nov. 13, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】 走査型電子顕微鏡の、ばらつきの少ない寸法校正方法の提供。【解決手段】 上面から見てストライプ形状の露出したゲート電極12を具え、このゲート電極12に電子ビームが照射されるとスイッチング動作してソース・ドレイン電流が流れるMOS FET構造を有するスイッチング素子を走査型電子顕微鏡の試料台上に載置し、このスイッチング素子10のソース・ドレイン電流を検出することにより、電子ビームがゲート電極12を一旦走査してから次にこのゲート電極12を走査するまでの走査時間を測定する。

Claim (excerpt)：

露出した制御電極に電子ビームが照射されるとスイッチング動作をするスイッチング素子から出力される電気信号を検出することにより、電子ビームを検出することを特徴とする電子ビーム検出方法。

IPC (5)：

H01J 37/244 ,  G01B 15/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 29/78 ,  H01L 39/00 ZAA

FI (5)：

H01J 37/244 ,  G01B 15/00 B ,  H01J 37/28 B ,  H01L 39/00 ZAA A ,  H01L 29/78 301 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 基体の電子ビ-ム走査の検出
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-256181   Applicant：ヒューズ・エアクラフト・カンパニー
• 荷電粒子線照射装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-114802   Applicant：株式会社ニコン
• 特開昭51-035285