処理装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中本菊彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996031249
Publication number (International publication number)：1997205047
Application date： Jan. 26, 1996
Publication date： Aug. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】処理システム内に供給される清浄空気の有効利用、清浄空気の雰囲気の制御及び使用に供された清浄空気の装置外への流出を防止すること。【解決手段】垂直及び水平方向に移動可能で垂直軸の回りに回転可能な主ウエハ搬送機構21を収容する室22の周囲に、複数の処理部を多段に設けた少なくとも1組の枚葉処理ユニットを配置する。また、室22の上部及び下部に設けられた給気口25及び排気口26に接続する循環管路52に、送風ファン51を介設すると共に、風量調整用のダンパ58を介して外気導入口57を設ける。これにより、室22内に供給される清浄空気を外部に排出することなく循環供給することができ、消費された空気を補給して、常時一定の風量の清浄空気を室22内に供給することができる。

Claim (excerpt)：

垂直及び水平方向に移動可能で垂直軸の回りに回転可能な被処理体搬送手段を設け、この被処理体搬送手段の周囲に、複数の処理部を多段に設けた少なくとも1組の枚葉処理ユニットを配置してなり、上記被処理体搬送手段を収容する室の上部及び下部に設けられた給気口及び排気口に循環管路を接続し、この循環管路に、送風手段を介設すると共に、風量調整手段を介して外気取入口を設けたことを特徴とする処理装置。

IPC (3)：

H01L 21/02 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (4)：

H01L 21/02 D , H01L 21/68 A , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 562

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

多層階クリーンルーム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-346536 Applicant：ソニー株式会社
熱処理装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-037889 Applicant：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社
特開平3-097216

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