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J-GLOBAL ID:200903025032396800
感光性樹脂組成物及び感光性フィルム
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (4):
長谷川 芳樹
, 清水 義憲
, 赤堀 龍吾
, 沖田 英樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007193712
Publication number (International publication number):2008122920
Application date: Jul. 25, 2007
Publication date: May. 29, 2008
Summary:
【課題】1液タイプ又はドライフィルムタイプのソルダーレジストとして好適に用いられる感光性樹脂組成物において、現像後に形成されるレジスト層がオーバーハングやアンダーカットを有する形状となることを防止すること。【解決手段】(a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する感光性プレポリマーと、(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマーと、(c)光重合開始剤と、(d)増感剤と、を含有し、365nmにおける感度の405nmにおける感度に対する比が0.9〜1.4であるような分光感度を有する、感光性樹脂組成物。また、これを用いた感光性フィルム。【選択図】なし
Claim (excerpt):
(a)カルボキシル基及びエチレン性不飽和基を有する感光性プレポリマーと、
(b)エチレン性不飽和基を有する光重合性モノマーと、
(c)光重合開始剤と、
(d)増感剤と、を含有し、
365nmにおける感度の405nmにおける感度に対する比が0.9〜1.4であるような分光感度を有する、感光性樹脂組成物。
IPC (3):
G03F 7/028
, G03F 7/004
, H05K 3/28
FI (5):
G03F7/028
, G03F7/004 512
, G03F7/004 505
, H05K3/28 D
, H05K3/28 F
F-Term (21):
2H025AA03
, 2H025AB15
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC43
, 2H025BC74
, 2H025BC85
, 2H025CA09
, 2H025CA22
, 2H025CA35
, 2H025CC12
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 5E314AA25
, 5E314AA27
, 5E314AA36
, 5E314BB06
, 5E314CC15
, 5E314GG17
, 5E314GG26
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
Cited by examiner (1)
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