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J-GLOBAL ID：200903035308885066

永久レジスト用感光性フィルム、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板

Inventor：
森田 正樹

About 森田 正樹

, 
畠山 修一

About 畠山 修一

, 
名越 俊昌

About 名越 俊昌


Applicant, Patent owner：
日立化成工業株式会社

About 日立化成工業株式会社


Agent (2)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003081327
Publication number (International publication number)：2004287267
Application date： Mar. 24, 2003
Publication date： Oct. 14, 2004
Summary：
【課題】フィルム状態での感光性樹脂組成物層の保存安定性に優れ、高解像度化を達成可能でかつ高温耐湿性に優れるレジストを形成可能な永久レジスト用感光性フィルムを提供すること。【解決手段】支持体と、該支持体上に形成された感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える永久レジスト用感光性フィルムであって、上記感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基を有するポリマーと、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)加熱によりそれ自体が架橋する硬化剤と、を含有することを特徴とする永久レジスト用感光性フィルム。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
支持体と、該支持体上に形成された感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂組成物層と、を備える永久レジスト用感光性フィルムであって、 前記感光性樹脂組成物は、(A)カルボキシル基を有するポリマーと、(B)エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)加熱によりそれ自体が架橋する硬化剤と、を含有することを特徴とする永久レジスト用感光性フィルム。
IPC (5)：
G03F7/033 ,  C08F2/44 ,  C08F291/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/038
FI (6)：
G03F7/033 ,  C08F2/44 C ,  C08F291/00 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/038
F-Term (55)：
2H025AA02 ,  2H025AB11 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC51 ,  2H025CA01 ,  2H025CA48 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CC20 ,  4J011PA27 ,  4J011PA38 ,  4J011PA43 ,  4J011PA45 ,  4J011PA46 ,  4J011PA69 ,  4J011PC02 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA22 ,  4J011QA25 ,  4J011QB20 ,  4J011QB22 ,  4J011SA02 ,  4J011SA06 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA32 ,  4J011SA62 ,  4J011SA64 ,  4J011SA76 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011WA01 ,  4J011XA02 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AA47 ,  4J026AA50 ,  4J026AC23 ,  4J026BA25 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA30 ,  4J026BA38 ,  4J026BA50 ,  4J026DB06 ,  4J026DB36 ,  4J026GA07
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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