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J-GLOBAL ID：200903025732619125

照明装置およびそれを用いた投影露光装置

Inventor：
森 堅一郎

About 森 堅一郎

, 
高橋 和弘

About 高橋 和弘


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999161109
Publication number (International publication number)：2000353418
Application date： Jun. 08, 1999
Publication date： Dec. 19, 2000
Summary：
【要約】【課題】 矩形の照明領域に対しても、効率よく照明することができるように集光手段を改良した照明装置を提供する。【解決手段】 ある大きさを持った所定の範囲から光束を発散する光源と、該光源から発散された光束を集光する集光手段と、該集光手段によって集光された光束を用いて、互いに直交する2方向について長さの異なる矩形形状の被照射領域を形成するため、前記直交する2方向について長さの異なる矩形断面の素子レンズを前記直交する2方向に配列したオプティカルインテグレータとを備えた照明装置であって、前記集光手段によって集光される光束と光軸とのなす集光角の最大値が前記直交する2方向で異なるように、前記集光手段を構成したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
ある大きさを持った所定の範囲から光束を発散する光源と、該光源から発散された光束を集光する集光手段と、該集光手段によって集光された光束を用いて、互いに直交する2方向について長さの異なる矩形形状の被照射領域を形成するため、前記直交する2方向について長さの異なる矩形断面の素子レンズを前記直交する2方向に配列したオプティカルインテグレータとを備えた照明装置であって、前記集光手段によって集光される光束と光軸とのなす集光角の最大値が前記直交する2方向で異なるように、前記集光手段を構成したことを特徴とする照明装置。
IPC (6)：
F21V 13/04 ,  F21V 7/00 ,  G02B 19/00 ,  G03B 21/14 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (8)：
F21V 13/04 C ,  G02B 19/00 ,  G03B 21/14 Z ,  G03F 7/20 521 ,  F21V 7/12 L ,  F21V 7/12 D ,  F21V 7/12 M ,  H01L 21/30 515 D
F-Term (5)：
2H052AC12 ,  2H052AC27 ,  5F046CA01 ,  5F046CB03 ,  5F046CB13
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (10)
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