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J-GLOBAL ID：200903093222680500

照明装置、露光装置及びデバイス製造方法

Inventor：
辻 俊彦

About 辻 俊彦


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997069671
Publication number (International publication number)：1998270312
Application date： Mar. 24, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：
【要約】【課題】 照明状態を変えることができる、内面反射型及び振幅分割型の各インテグレータを用いる照明装置を提供する。【解決手段】 内面反射型インテグレータ4と振幅分割型インテグレータ7の間に、インテグレータ4が形成する面光源をインテグレータ7の光入射面上に結像するズーム光学系を配し、ズーム光学系の結像倍率を可変とする。ズーム光学系の結像倍率を変えることによりインテグレータ7の光入射面上の面光源像の大きさを変え、マスク9に対する照明光の開き角αを変更する。
Claim (excerpt)：
入射光の少なくとも一部を内面で反射して光出射面又はその近傍に強度分布が均一な面光源を形成する内面反射型の第1インテグレータと、入射光の波面を分割して光出射面又はその近傍に複数の光源を形成する波面分割型の第2インテグレータと、前記面光源を前記第2インテグレータの光入射面又はその近傍に結像する結像光学系と、前記複数の光源からの光を被照明面上で互いに重ね合わせる集光光学系とを有し、前記結像光学系が結像倍率を変えることができることを特徴とする照明装置。
IPC (4)：
H01L 21/027 ,  G02B 27/00 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521
FI (5)：
H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 27/00 V ,  H01L 21/30 527
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
  • 照明光学装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-211220   Applicant：株式会社ニコン
  • 特開平4-225214
  • 投影露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-037897   Applicant：株式会社ニコン
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