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J-GLOBAL ID：200903025973957595

芯ずれ補正装置及びその方法

Inventor：
谷口 芳久

About 谷口 芳久


Applicant, Patent owner：
オリンパス株式会社

About オリンパス株式会社


Agent (4)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003056214
Publication number (International publication number)：2004264690
Application date： Mar. 03, 2003
Publication date： Sep. 24, 2004
Summary：
【課題】常に一定でない芯ずれを補正する。【解決手段】所望倍率の対物レンズ2に切り替える前にCCDカメラ14により基板6の第1の画像データD1を取得し、所望倍率の対物レンズ2を予め設定された芯ずれ補正値に従って切り替えた後に、再びCCDカメラ14により基板6の第2の画像データD2を取得し、このうち倍率の高い方の第1又は第2の画像データD1、D2を縮小し、この縮小画像データを縮小しない第2又は第1の画像データ中でマッチングしてばらつき補正値を求め、このばらつき補正値に基づいて対物レンズ2の芯ずれを補正する。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
複数の光学素子のうち所望の前記光学素子に切り替えたときに、予め前記所望の光学素子に対して設定された芯ずれ補正値に基づいて、観察光学系の光軸に対する前記所望の光学素子の芯ずれを補正する芯ずれ補正装置において、 前記所望の光学素子に対して設定された芯ずれ補正値を変更可能に芯ずれ補正値変更手段を設けたことを特徴とする芯ずれ補正装置。
IPC (2)：
G02B21/24 ,  G02B7/00
FI (2)：
G02B21/24 ,  G02B7/00 A
F-Term (8)：
2H043AA04 ,  2H043AA08 ,  2H043AA23 ,  2H052AD16 ,  2H052AD33 ,  2H052AF14 ,  2H052AF23 ,  2H052AF25
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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