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J-GLOBAL ID：200903026139390886

薄膜ガスセンサ

Inventor： 鈴木 卓弥 ,  小野寺 克己 ,  井上 文宏 ,  津田 孝一
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 山口 巖 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998326590
Publication number (International publication number)：2000146884
Application date： Nov. 17, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 感応電極層の絶縁層への付着性を向上させ、かつガス感度の確保を可能とする。【解決手段】 絶縁層3と感応層電極5との間に、絶縁層への付着性に優れかつ感応層電極5への拡散の少ない金属からなる電極接合層4を設けることにより、掲記課題の解決を図る。電極接合層としては、TaまたはTiを用いる。

Claim (excerpt)：

SnO2 からなりガスに感応する感応層に接合される感応層電極と絶縁層との間に、この絶縁層への付着性に優れかつ前記感応層電極への拡散が少ない金属からなる電極接合層を形成したことを特徴とする薄膜ガスセンサ。

FI (2)：

G01N 27/12 C ,  G01N 27/12 B

F-Term (17)：

2G046AA02 ,  2G046AA11 ,  2G046AA19 ,  2G046AA21 ,  2G046AA24 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BC05 ,  2G046BE03 ,  2G046EA02 ,  2G046EA09 ,  2G046EB01 ,  2G046FB02 ,  2G046FE31 ,  2G046FE39 ,  2G046FE41 ,  2G046FE44

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-160400   Applicant：株式会社トクヤマ, フィガロ技研株式会社
• ガスセンサ及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-278103   Applicant：エルジー電子株式会社