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J-GLOBAL ID:200903026163457002
集積回路チップ上の他の回路コンポーネント上に形成されたマイクロ加工トランスデューサおよびその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2001506269
Publication number (International publication number):2003503923
Application date: Jun. 12, 2000
Publication date: Jan. 28, 2003
Summary:
【要約】本発明は1つの集積回路チップ上に形成される音響トランスデューサまたはこのようなトランスデューサのアレイと、その製造方法を提供し、ここでは音響トランスデューサのアレイが含まれており、音響トランスデューサのアレイはそれぞれ音響信号を検出できトランスデューサ信号を発生でき、間にボイド領域が配置されている第1と第2の電極と、第1と第2の電極の一方に関連する少なくとも1つの信号ラインを含んでいる。音響トランスデューサのアレイの下には複数の増幅器およびその他の回路コンポーネントが配置され、したがって各複数の増幅器は音響トランスデューサの1つに関連する信号ラインの1つに結合され、増幅器の出力信号ライン上で増幅されたトランスデューサ信号を得るため関連するトランスデューサ信号を増幅できる。
Claim (excerpt):
単一の集積回路チップを具備するトランスデューサ装置において、前記単一の集積回路チップは、 それぞれ音響信号の検出およびトランスデューサ信号の発生が可能であり、間にボイド領域が配置されている第1と第2の電極と、第1と第2の電極の一方に関連する少なくとも1つの信号ラインとを含んでいる複数の音響トランスデューサと、 それら複数の音響トランスデューサのアレイの下方に配置され、複数の音響トランスデューサの1つに関連する信号ラインの1つに結合され、出力信号ライン上に増幅されたトランスデューサ信号を出力するために関連するトランスデューサ信号を増幅できる複数の増幅器とを具備しているトランスデューサ装置。
IPC (2):
H04R 17/00 332
, H04R 23/00
FI (2):
H04R 17/00 332 A
, H04R 23/00
F-Term (4):
5D019BB18
, 5D019BB25
, 5D019HH01
, 5D021DD01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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特開平1-312486
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集積型容量性変換器及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-255947
Applicant:ホシデン株式会社
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超音波探触子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-260234
Applicant:横河メデイカルシステム株式会社
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