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J-GLOBAL ID：200903026221917752

気化器

Inventor： 堀江 邦明 ,  小榑 直明 ,  福永 由紀夫 ,  本郷 明久
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997148543
Publication number (International publication number)：1998085581
Application date： May. 22, 1997
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 多孔質体を有する気化器への熱の供給を円滑に行って、複雑な特性を有する液体原料の気化を効率的かつ円滑に行なわせる。【解決手段】 互いに対向する受液面9aと排気面9bを有する多孔質体9を有する気化部Bと、前記多孔質体の受液面に液体原料を供給する原料供給路1を有する原料供給部Aと、該多孔質体に熱的に接触する熱媒体流路P1,P2,P3と、前記熱媒体流路に前記液体原料の気化温度以上に加熱した熱媒体を流通させる熱媒体供給系とを有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

互いに対向する受液面と排気面を有する多孔質体を有する気化部と、前記多孔質体の受液面に液体原料を供給する原料供給路を有する原料供給部と、該多孔質体に熱的に接触する熱媒体流路と、前記熱媒体流路に前記液体原料の気化温度以上に加熱した熱媒体を流通させる熱媒体供給系とを有することを特徴とする気化器。

IPC (4)：

B01J 7/02 ,  C23C 16/44 ,  C30B 35/00 ,  H01L 21/31

FI (4)：

B01J 7/02 Z ,  C23C 16/44 C ,  C30B 35/00 ,  H01L 21/31 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 原料試薬液体の供給装置、およびその供給装置を備える化学蒸着装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-501257   Applicant：アドバンスド.テクノロジー.マテリアルズ.インコーポレイテッド
• 固体物質の昇華方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-308963   Applicant：イーストマンコダックカンパニー
• 炭化ケイ素単結晶製造装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-140143   Applicant：日新製鋼株式会社