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J-GLOBAL ID：200903026256112056

感放射線性樹脂組成物およびバンプ形成用材料

Inventor：
佐野 公康

About 佐野 公康

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千葉 秀貴

About 千葉 秀貴

, 
五十嵐 勝利

About 五十嵐 勝利


Applicant, Patent owner：
日本合成ゴム株式会社

About 日本合成ゴム株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995136034
Publication number (International publication number)：1996301911
Application date： May. 10, 1995
Publication date： Nov. 19, 1996
Summary：
【要約】【構成】 (A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物からなる構成成分が10〜50重量%、(b)環状アルキル基を有し、カルボキシル基を有しないラジカル重合性化合物からなる構成成分が20〜60重量%および(c)他のラジカル重合性化合物からなる構成成分が5〜40重量%からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【効果】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、アルカリ現像液に対する現像性と20μm以上の厚膜で十分な解像度を有し、しかも耐メッキ液性に優れ、さらに現像時の基板との密着性とメッキ液に対する良好な濡れ性を示し、メッキによる良好なバンプを形成することができ、かつ硬化剤の基板からの剥離性に優れている。
Claim (excerpt)：
(A)(a)カルボキシル基を有するラジカル重合性化合物からなる構成成分が10〜50重量%、(b)環状アルキル基を有し、カルボキシル基を有しないラジカル重合性化合物からなる構成成分が20〜60重量%および(c)他のラジカル重合性化合物からなる構成成分が5〜40重量%からなるアルカリ可溶性を有する共重合体、(B)少なくとも1個のエチレン性不飽和二重結合を有する化合物および(C)放射線ラジカル重合開始剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (6)：
C08F 2/48 MDT ,  C08L 33/00 LHR ,  C08L 33/00 LHT ,  C25F 3/14 ,  G02F 1/133 ,  H01L 21/321
FI (6)：
C08F 2/48 MDT ,  C08L 33/00 LHR ,  C08L 33/00 LHT ,  C25F 3/14 ,  G02F 1/133 ,  H01L 21/92 603 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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