半導体検査用のファイバ増幅器ベースの光源

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：吉田研二 , 石田純
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2007529941
Publication number (International publication number)：2008511177
Application date： Aug. 16, 2005
Publication date： Apr. 10, 2008
Summary：

半導体ウエハ検査システムやフォトマスク検査システムなどの検査システムに使用するレーザ照射器を提供する。照射器の利得媒体は光ファイバを備え、増幅と、ビームスプリッティングと、周波数および/または帯域幅の変換と、ピーク出力低下と、Qスイッチまたはモード同期となどを用いることができる。ドープファイバ、格子、飽和性吸収体、レーザダイオードを含む構成を開示して、照射を向上させる。

Claim (excerpt)：

試料検査システムに用いられる照射器であって、光エネルギーを受け取って該光エネルギーを試料に伝送するように構成された少なくとも1つの光ファイバを備えることを特徴とする照射器。

IPC (10)：

H01S 3/06 , G01N 21/01 , H01L 21/66 , G01N 21/00 , G01N 21/39 , G01N 21/33 , H01S 3/109 , G02F 1/37 , G01N 21/84 , H01S 3/113

FI (10)：

H01S3/06 B , G01N21/01 D , H01L21/66 J , G01N21/00 B , G01N21/39 , G01N21/33 , H01S3/109 , G02F1/37 , G01N21/84 E , H01S3/113

F-Term (28)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051BA01 , 2G051BA05 , 2G051BA06 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BB17 , 2G059AA05 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH03 , 2G059JJ17 , 2G059JJ30 , 2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002BA01 , 2K002HA18 , 4M106AA01 , 4M106AA09 , 4M106BA05 , 4M106CA38 , 5F172AM08 , 5F172DD03 , 5F172EE15 , 5F172NR22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

レ-ザ装置並びにこのレ-ザ装置を用いた露光装置及び方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-063256 Applicant：株式会社ニコン
高エネルギーレベルを有する高ピークパワーを供給する光増幅器
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平9-526051 Applicant：エスディーエルインク.
照明装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-103309 Applicant：リンテック株式会社

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