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J-GLOBAL ID：200903041776530534

レ-ザ装置並びにこのレ-ザ装置を用いた露光装置及び方法

Inventor：
大槻 朋子

About 大槻 朋子

, 
大和 壮一

About 大和 壮一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 大西 正悟
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999063256
Publication number (International publication number)：2000200747
Application date： Mar. 10, 1999
Publication date： Jul. 18, 2000
Summary：
【要約】【課題】 露光装置等の光源として充分な出力と低コヒーレンスとを兼ね備えた紫外光を、安定して発生することができ、かつ小型でメインテナンスの容易な紫外レーザ装置及び露光装置を提供する。【解決手段】 レーザ光発生部には単一波長発振レーザ21を有し、更に光変調器22及び時分割光分岐手段23とを有し、前記光変調したパルス光を単一パルスごとに順次各チャネルへ分岐出力する。光増幅器はファイバー光増幅器24,25を有し、前記分岐された各チャネルのレーザ光を各々増幅し出力する。この光増幅器の出力端29は、ファイバー端を所望の数及び形状のバンドル状に束ねて構成する。このバンドル出力は図示しない波長変換部により波長変換され、所要波長の紫外レーザ光を得る。以上のような構成により、前記ファイバーバンドルを1バンドルとしたときには出力端は直径2mm以下となり、一対の非線形光学結晶で波長変換部を構成できる。
Claim (excerpt)：
赤外域から可視域までの波長範囲内で単一波長のレーザ光を発生させる単一波長発振レーザを有するレーザ光発生部と、前記レーザ光発生部によって発生されたレーザ光を増幅するファイバー光増幅器を有する光増幅器と、前記増幅されたレーザ光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換部とを備え、単一波長の紫外光を発生することを特徴とするレーザ装置。
IPC (7)：
H01L 21/027 ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/067 ,  H01S 3/10 ,  H01S 3/108
FI (8)：
H01L 21/30 515 B ,  G02F 1/37 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 505 ,  H01S 3/06 B ,  H01S 3/10 Z ,  H01S 3/108 ,  H01L 21/30 516 D
F-Term (32)：
2H097AA03 ,  2H097AA11 ,  2H097CA13 ,  2H097GB01 ,  2H097KA03 ,  2H097KA12 ,  2H097KA29 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002CA02 ,  2K002HA18 ,  2K002HA19 ,  2K002HA20 ,  5F046AA06 ,  5F046AA07 ,  5F046CA04 ,  5F046CA05 ,  5F046CA08 ,  5F046DA02 ,  5F046EB02 ,  5F046FB20 ,  5F072AB09 ,  5F072AB13 ,  5F072AK06 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK12 ,  5F072QQ02 ,  5F072QQ04 ,  5F072RR05 ,  5F072YY09
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • レーザーシステム
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-262247   Applicant：金門電気株式会社, 日新電機株式会社, 中井貞雄, 財団法人レーザー技術総合研究所
  • 半導体露光装置、投影露光装置及び回路パターン製造方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-320557   Applicant：ソニー株式会社, 株式会社ニコン
  • 露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-270708   Applicant：日本電気株式会社
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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