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J-GLOBAL ID:200903026759732744
特に2つの実質的に互いに直交する方向に光ビームを偏向するための光学装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
木村 高久
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001203644
Publication number (International publication number):2002062504
Application date: Jul. 04, 2001
Publication date: Feb. 28, 2002
Summary:
【要約】本発明は、光ビーム(1,14)を、特に、2つの実質的に互いに直交する方向(2,3)に偏向するための光学装置に関する。好ましくは、互いに直交する軸、すなわちx軸(6)およびy軸(7)を中心にして、それぞれの場合に回転駆動装置(4,5)によって回転することができる2つのミラー(8,10)を有し、2つのミラー(8,10)の一方が、回転に関して固定された態様で、規定の角度位置にある別のミラー(9)を割当てられ、互いに割当てられたミラー(8,9)、すなわち第1および第2のミラーはy軸(7)を中心にして協働して回転し、その際、第3のミラー(10)の回転軸(6)、すなわちx軸にある枢軸(11)を中心にして、光ビーム(1,14)を回転する、共焦点走査型顕微鏡に適用するための、光ビーム(1,14)を偏向するための光学装置に関する。
Claim (excerpt):
特に2つの実質的に互いに直交する方向(2,3)に光ビーム(1,14)を偏向するための光学装置であって、それぞれの場合に互いに直交する軸、すなわちx軸(6)およびy軸(7)を中心にして回転駆動装置(4,5)によって回転されることができる2つのミラー(8,10)を有し、前記2つのミラー(8,10)のうちの一方が、回転に関して固定される態様で、規定の角度位置にある別のミラー(9)に割当てられ、 互いに割当てられるミラー(8,9)、すなわち第1および第2のミラーが前記y軸(7)を中心にして協働して回転し、その際、第3のミラー(10)の回転軸(6)、すなわち前記x軸にある枢軸(11)を中心にして光ビーム(1,14)を回転する光学装置であって、前記ミラー(8,9,10)は、該第2のミラー(9)と該第3のミラー(10)との間で進む光ビーム(12)によって規定される光軸が、常に、前記x軸(6)を含み、かつ前記y軸(7)と直交する面に実質的に存在するように配置されることを特徴とする光学装置。
IPC (3):
G02B 26/10 104
, G02B 26/10
, G02B 21/00
FI (3):
G02B 26/10 104 Z
, G02B 26/10 C
, G02B 21/00
F-Term (6):
2H045AB02
, 2H045BA13
, 2H045DA11
, 2H045DA31
, 2H052AA08
, 2H052AC15
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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反射光学付きレーザー走査装置
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平8-527069
Applicant:マッケンジョン
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特開昭62-287213
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実質的に相互に垂直な2つの軸においてビームを走査するために光学装置
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平10-528243
Applicant:ライカミクロジュステムスハイデルベルクゲーエムベーハー
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