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J-GLOBAL ID：200903026891016217

加速度センサとその製造方法

Inventor： 中田 仗祐
Applicant, Patent owner： 中田 仗祐
Agent (1)： 矢野 正行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993257606
Publication number (International publication number)：1995092188
Application date： Sep. 20, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【構成】固定部5、錘6及び錘6と固定部5とを可撓性をもって連結する複数の梁7,7を備えたチップ2を準備し、このチップ2の錘6及び梁7,7を蓋3,4によって気密封止した後、少なくとも一つの所望の梁7が残るように他の梁7を切断することを特徴とする加速度センサの製造方法。【効果】たとえ梁7を薄くしても製造工程における加速度センサ1の梁7の破壊を未然に防止することができる。従って、センサ1の感度向上と歩留まり向上とを両立できる。

Claim (excerpt)：

固定部と、本体に加速度が加わることによって固定部を基準として相対的に変位する錘と、この錘と固定部とを可撓性をもって連結する梁と、この梁内に形成され、錘の変位によって撓む梁の変形量に応じてピエゾ抵抗効果を生じるゲージ部と、このゲージ部の電気信号を外部に導く電気回路と、固定部を挟持するとともに前記錘及び梁を封止する蓋とを備え、その蓋は、少なくとも前記梁を覗くことができる部分がガラスよりなることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• セルフテスト機能付加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-263846   Applicant：三洋電機株式会社
• マイクロデバイスとその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-029303   Applicant：株式会社日立製作所