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J-GLOBAL ID：200903027087851479

光共振器を利用した走査型近接場光学顕微鏡

Inventor： 片岡俊彦
Applicant, Patent owner： 片岡 俊彦 ,  日本電子株式会社
Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997253411
Publication number (International publication number)：1999094859
Application date： Sep. 18, 1997
Publication date： Apr. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 再現性良く、かつナノメータオーダまでの空間分解能で効率よく観察可能とする。【解決手段】 光導波路または光ファイバーを用いた進行波型光リング共振器の光導波路または光ファイバーの側面に、あるいは三枚以上のミラーを用いた進行波型光リング共振器の試料に対向するミラー面に、それぞれ光の波長より小さい微小突起を配設し、該微小突起をプローブとして試料に対向させ、プローブを試料に近づけたときに光リング共振器内に生じる後方散乱を一定にするか、光リング共振器の共振周波数または共振曲線の形状を一定にするようにプローブ-試料間距離をフィードバック制御することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

試料又はプローブの三次元走査のための送り機構を有する走査型近接場光学顕微鏡において、光導波路または光ファイバーを用いた進行波型光リング共振器の光導波路または光ファイバーの側面に光の波長より小さい微小突起を配設し、該微小突起をプローブとして試料に対向させ、プローブを試料に近づけたときに光リング共振器内に生じる後方散乱を一定にするか、光リング共振器の共振周波数または共振曲線の形状を一定にするようにプローブ-試料間距離をフィードバック制御することを特徴とする光共振器を利用した走査型近接場光学顕微鏡。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 光パルス列発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-276145   Applicant：日本電信電話株式会社
• 周波数安定化リングレーザ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-105061   Applicant：日本電信電話株式会社
• 光送信装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-278235   Applicant：株式会社東芝