平面ガラスの接合方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石井良和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004200763
Publication number (International publication number)：2006021944
Application date： Jul. 07, 2004
Publication date： Jan. 26, 2006
Summary：

【課題】接合面に気泡や異物が残存せず、清浄な状態で平面ガラスを接合する。【解決手段】鏡面研磨された石英ガラス板2枚を純水の流水中で接合面を近接させて相対的に動かして気泡、異物を接合面間から除去し、位置合わせをおこない、0.01MPa、500°Cで一昼夜真空乾燥して強固に接合する。清浄な純水の流水を用いているので異物の除去効果が高くなると共に相対移動によって気泡の発生を防止し、更に、治具等からの再汚染を防ぐことができる。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

鏡面研磨した平面ガラスを流水中で、接合面を近接した状態で相対的に動かして気泡、異物を接合面間から除去し、真空状態で接合面間の余剰水を乾燥除去する平面ガラスの接合方法。

IPC (2)：

C03C 27/06 , C03C 23/00

FI (2)：

C03C27/06 , C03C23/00 A

F-Term (19)：

4G059AA01 , 4G059AA04 , 4G059AA11 , 4G059AA20 , 4G059AB09 , 4G059AC30 , 4G061AA02 , 4G061AA20 , 4G061BA00 , 4G061BA12 , 4G061CA02 , 4G061CB07 , 4G061CD02 , 4G061DA05 , 4G061DA06 , 4G061DA09 , 4G061DA15 , 4G061DA21 , 4G061DA51

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

特開昭48-17786号公報
平面型フローセル、その製造方法、及び測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-209396 Applicant：東ソー・クォーツ株式会社
光導波路素子とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-286584 Applicant：松下電器産業株式会社

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Cited by examiner (4)

石英ガラスの接合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-241637 Applicant：富士通株式会社
光導波路素子とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-286584 Applicant：松下電器産業株式会社
接合方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-163245 Applicant：株式会社荏原製作所

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