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J-GLOBAL ID:200903027406035680
光半導体装置及びその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
高橋 敬四郎
, 来山 幹雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006263074
Publication number (International publication number):2008085064
Application date: Sep. 27, 2006
Publication date: Apr. 10, 2008
Summary:
【課題】 p型活性層にダメージを与えることなく、素子容量の増大も抑制することができる光半導体素子を提供する。【解決手段】 基板上に、p型半導体からなるp型クラッド層(3)が形成されている。p型クラッド層の上に、p型半導体領域を含む活性層(5)が形成されている。活性層の上に、ノンドープの半導体からなる緩衝層(10)が配置されている。緩衝層の表面の一部の領域上に、n型半導体からなるリッジ状のn型クラッド層(11)が配置されている。n型クラッド層の両側の領域の緩衝層は、n型クラッド層直下の領域の緩衝層よりも薄い。【選択図】 図1-3
Claim (excerpt):
基板上に形成されたp型半導体からなるp型クラッド層と、
前記p型クラッド層の上に配置され、p型半導体領域を含む活性層と、
前記活性層の上に配置され、ノンドープの半導体からなる緩衝層と、
前記緩衝層の表面の一部の領域上に配置されたn型半導体からなるリッジ状のn型クラッド層と
を有し、前記n型クラッド層の両側の領域の前記緩衝層は、該n型クラッド層直下の領域の該緩衝層よりも薄い光半導体素子。
IPC (2):
FI (3):
H01S5/22
, H01S5/50 610
, H01S5/50 630
F-Term (11):
5F173AA08
, 5F173AF09
, 5F173AG20
, 5F173AH02
, 5F173AP09
, 5F173AP32
, 5F173AP43
, 5F173AR65
, 5F173AR82
, 5F173AS01
, 5F173AS10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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半導体レーザダイオード
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-303071
Applicant:三菱電機株式会社
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面発光レーザ装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-014689
Applicant:富士通株式会社
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半導体レーザ素子及びその作製方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-293415
Applicant:古河電気工業株式会社
-
発光素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-330524
Applicant:ソニー株式会社
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Article cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
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Temperature independent transmission for 10 Gbps 300m-MMF using lowdriving-current quantum dot laser
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