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J-GLOBAL ID：200903027437745502

ポテンシャルの測定方法および測定装置

Inventor：
三村 享

About 三村 享


Applicant, Patent owner：
株式会社堀場製作所

About 株式会社堀場製作所


Agent (5)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦 ,  今木 隆雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005101496
Publication number (International publication number)：2006284225
Application date： Mar. 31, 2005
Publication date： Oct. 19, 2006
Summary：
【課題】 物理現象または化学現象を電荷情報に変換することによって優れた応答性を有し微小な変化の定量化を行うことができると同時に、測定対象あるいは測定目的に対応して広い測定範囲と狭い測定範囲の両方を1つの手段で測定可能な、高い測定精度を有する測定方法あるいは測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 センシング部3に対して電荷供給部1から電荷を供給し、供給された電荷をセンシング部3からフローティングディフュージョン5を介して取出し、供給された電荷量を検出することによって該物理現象または化学現象に係るポテンシャルを測定する方法であって、物理的または化学的な量の変化の大きさに応じて測定範囲を設定し、移動する電荷のフローティングディフュージョン5への蓄積回数を設定するとともに、設定された測定範囲を基準に蓄積回数を制御することを特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
物理的または化学的な量の大きさに対応して電位が変化するセンシング部に対して電荷供給部から電荷を供給し、供給された電荷をセンシング部からフローティングディフュージョンを介して取出し、供給された電荷量を検出することによって該物理現象または化学現象に係るポテンシャルを測定する方法であって、 物理的または化学的な量の変化の大きさに応じて測定範囲を設定し、移動する電荷のフローティングディフュージョンへの蓄積回数を設定するとともに、設定された測定範囲を基準に蓄積回数を制御することを特徴とするポテンシャルの測定方法。
IPC (6)：
G01D 5/12 ,  G01N 27/00 ,  G01N 27/414 ,  G01N 27/416 ,  H01L 29/762 ,  H01L 21/339
FI (5)：
G01D5/12 Z ,  G01N27/00 Z ,  G01N27/30 301Z ,  G01N27/46 353Z ,  H01L29/76 301E
F-Term (29)：
2F077AA49 ,  2F077MM16 ,  2F077VV33 ,  2F077WW08 ,  2G060AC02 ,  2G060AE17 ,  2G060AE40 ,  2G060AF07 ,  2G060AF09 ,  2G060AF10 ,  2G060AF15 ,  2G060HC08 ,  2G060HC13 ,  2G060HC19 ,  2G060HC21 ,  2G060HC22 ,  2G060KA06 ,  4M118AA02 ,  4M118AA05 ,  4M118AB10 ,  4M118BA22 ,  4M118DA20 ,  4M118DB05 ,  4M118DB06 ,  4M118DB08 ,  4M118DB09 ,  4M118DD03 ,  4M118DD04 ,  4M118DD12
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2) Cited by examiner (3)

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