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J-GLOBAL ID：200903027789657000

静電容量型湿度センサー

Inventor： 吉田 知子 ,  山下 渉 ,  大川 祐一 ,  進藤 清孝
Applicant, Patent owner： 三井化学株式会社
Agent (1)： 中嶋 重光 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001076988
Publication number (International publication number)：2002005867
Application date： Mar. 16, 2001
Publication date： Jan. 09, 2002
Summary：

【要約】【課題】 湿度に対する安定性、温度依存率、応答速度、高い静電容量変化率などにすぐれた静電容量型湿度センサーを提供すること。【解決手段】 少なくとも2つの金属電極を有する静電容量型湿度センサー。電極の間にポリイミド樹脂を含む感湿層を設けたセンサーは好ましい態様であり、下記(1)または(2)で表される基を含有するポリイミドは好ましいポリイミドである。【化1】(R1およびR2は、単結合、または置換基があってもよい炭素数1〜20の炭化水素基。)【化2】(R3,R4,R6およびR7は、アルキル基またはハロゲン原子、R5は、単結合、-SO2-、-CO-、-O-、-S-、アルキレン基またはアリーレン基、mおよびnは0〜4の整数、pおよびqは0〜4の整数。)

Claim (excerpt)：

少なくとも2つの金属電極を有し、電極の間にノルボルナン骨格を有する基または下記式(2)で表される基から選ばれた少なくとも一つの基を含むポリイミド樹脂を含む感湿層を設けた静電容量型湿度センサー。【化1】(式中、R3,R4,R6およびR7は、それぞれ独立にアルキル基またはハロゲン原子を表し、R5は、単結合、-SO2-、-CO-、-O-、-S-、アルキレン基またはアリーレン基を表し、mおよびnは、0〜4の整数、pおよびqは0〜4の整数を表す。)

F-Term (7)：

2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AE19 ,  2G060AF10 ,  2G060AG11 ,  2G060BA09 ,  2G060BB10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 静電容量式湿度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-194178   Applicant：エヌオーケー株式会社
• 湿度センサの製造法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-049837   Applicant：エヌオーケー株式会社