反射防止膜およびその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998108235
Publication number (International publication number)：1999305005
Application date： Apr. 17, 1998
Publication date： Nov. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】高性能の正規反射防止膜を生産性よく得る。【解決手段】周囲媒質1と屈折率n<SB>g</SB> の透光性光学媒体2との間に透光性誘電体膜3が設けられ、周囲媒質1に接する界面Sが設けられ、界面SはピッチP=2400nm、平均高さd=130nmの周期構造を備えた凹凸を有し、界面Sに入射する入射光束の中心波長をλ=520nm、中心入射角θ=5°とし、凹凸の反射光路の位相差φ=4π・n・d・cosθ/λ=π、λ<P≦30λを満足する。

Claim (excerpt)：

屈折率nを有する周囲媒質1と屈折率n<SB>g</SB> を有する透光性光学媒体2(n≠n<SB>g</SB> )との間に少なくとも1層の透光性誘電体膜が設けられた反射防止膜において、周囲媒質1に接する界面Sが設けられ、界面SはピッチPおよび平均高さdを有する周期構造を備えた凹凸を有し、界面Sに入射する入射光束の中心波長をλ、凸部からの反射光と凹部からの反射光との光路の位相差をφとすると、λ<P≦30λ、かつ、φ≒(2M+1)・π(Mは0または正の整数)を満足することを特徴とする反射防止膜。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

プラスチック製回折格子の反射防止膜
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-123085 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
撥水性を有する光学素子
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-227947 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
光磁気記録装置用光学ヘッドの対物レンズ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-162142 Applicant：京セラ株式会社

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