光学式欠陥検査装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小川勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998154164
Publication number (International publication number)：1999344447
Application date： Jun. 03, 1998
Publication date： Dec. 14, 1999
Summary：

【要約】【課題】微細なパターンを有する被検査対象の微細な欠陥を検出するためには、高解像度の画像入力系が必要であり、高解像度化を図るためには短波長照明での画像入力が必要となるが、通常のCCDセンサでは短波長光に対して感度がないため検出できない。【解決手段】被検査対象物に対して、短波長照明を照射し、その反射光を検出光学系で結像させたCCDイメージセンサとして、短波長光に対して感度があり、広ダイナミックレンジの裏面照射型CCDを用いたTDIイメージセンサを用いて画像を入力することで、短波長光の画像を得る。

Claim (excerpt)：

繰り返しパターンを有する検査対象に対し、検査対象部を照射するための照明系と、該照明系からの反射光像を結像する検出光学系と、該光学系の像を電気信号に変換するイメージセンサと、イメージセンサからのアナログ出力信号をデジタル信号に変換するAD変換部と、該検出画像信号を参照用画像と比較をして欠陥部を検出する欠陥検出手段を備えたものにおいて、イメージセンサとして裏面照射型CCDイメージセンサを用いたTDIセンサを使用することを特徴とする光学式欠陥検査装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

光学的検査方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-186159 Applicant：オーボット・インストゥルメンツ・リミテッド
半導体基板の製造方法並びに被検査対象物上のパターンの欠陥検査方法及びその装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-139198 Applicant：株式会社日立製作所
特開平4-100384

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