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J-GLOBAL ID：200903028029850590

DLC微粒子及びその製造方法

Inventor： 伴 雅人 ,  末光 毅 ,  苧野 兵衛
Applicant, Patent owner： 川崎重工業株式会社
Agent (1)： 関 正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003199468
Publication number (International publication number)：2005036275
Application date： Jul. 18, 2003
Publication date： Feb. 10, 2005
Summary：

【課題】DLCの機能特性を保全したDLC微粒子を提供し、またDLC膜の圧縮応力を保全して粉体状のDLCを得る方法を提供する。【解決手段】真空容器であるプロセス室11内のバレル型容器13にDLC微粒子のコアになる極微細粒子21を必要量装填し、プロセス室11を真空排気して、バレル型容器13を回転させて極微細粒子を容器内で流動させながら、プロセス室11内にカーボン系材料や添加元素ガスが含まれるプロセスガスを供給し、化学的気相蒸着法(CVD法)を行って極微細粒子の表面にダイアモンドライクカーボン(DLC)をコーティングすることにより、DLC微粒子を生成する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

金属、炭化物、酸化物、窒化物、カーボン系材料、有機物から選択する材料からなる極微細粒子と、該極微細粒子をコアとしてその表面全周にコーティングしたダイアモンドライクカーボン(DLC)の層とからなるDLC微粒子。

IPC (2)：

C23C16/27 ,  C23C14/06

FI (2)：

C23C16/27 ,  C23C14/06 F

F-Term (18)：

4K029AA04 ,  4K029AA08 ,  4K029AA22 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029EA01 ,  4K030AA09 ,  4K030BA28 ,  4K030BB13 ,  4K030CA02 ,  4K030CA05 ,  4K030CA07 ,  4K030CA18 ,  4K030FA01 ,  4K030GA01 ,  4K030JA01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• CVD成膜装置及びCVD成膜方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-194386   Applicant：株式会社ユーテック
• ダイヤモンド状カーボンを粒子にコーティングする方法と装置
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2000-522295   Applicant：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー
• タペット
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-323519   Applicant：川崎重工業株式会社
• 2層金属めっきダイヤモンド微粒子およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-041296   Applicant：日新製鋼株式会社