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J-GLOBAL ID：200903028040455180

パーティクルモニタ用センサヘッド

Inventor： 小倉 毅勇
Applicant, Patent owner： 松下電子工業株式会社
Agent (1)： 岡本 宜喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997310426
Publication number (International publication number)：1999142318
Application date： Nov. 12, 1997
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】 全ての真空装置で使用できるパーティクルモニタ用センサヘッドを提供すること。【解決手段】 レーザ発光部11Aとしてレーザダイオード1とマイクロレンズ2を設ける。また受光部12Aとして光学フィルタ4とディテクタ3を設ける。測定容器10Aを真空装置の内部空間と結合し、真空装置のパーティクルに対してレーザビームを照射する。各パーティクルによって散乱された光は、光学フィルタ4を通してディテクタ3に入射する。このときプラズマ光が測定容器10Aに直接入射しないように、遮蔽板5又はハニカム構造体を設置する。こうすると、不要な直接光の到来を防止でき、レーザダイオード1の波長に近いスペクトルを持つプラズマ条件においても、パーティクルの測定精度が向上する。

Claim (excerpt)：

パーティクルの測定空間を有する測定容器と、前記測定容器に取り付けられ、前記測定空間に対してレーザビームを放射するレーザ発光部と、前記測定容器に取り付けられ、前記測定空間においてパーティクルがレーザビームを横切るとき発生する散乱光を検出する受光部と、を具備するパーティクルモニタ用センサにおいて、前記測定空間に入射する光が前記受光部に入射するのを防止する遮蔽手段を設けたことを特徴とするパーティクルモニタ用センサヘッド。

IPC (2)：

G01N 15/14 ,  G01B 11/00

FI (2)：

G01N 15/14 P ,  G01B 11/00 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• パーティクル計測装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-192147   Applicant：富士通株式会社, 富士通ヴィエルエスアイ株式会社
• 特開平4-095729
  
• 微粒子測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-268910   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開平4-095729