顕微全反射吸収スペクトル測定装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：西岡義明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995041028
Publication number (International publication number)：1996233728
Application date： Feb. 28, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】試料の微小部分の測定であっても高感度反射法(RAS)に匹敵するような高感度測定ができる顕微全反射吸収スペクトル測定装置を得ることを目的としている。【構成】本発明の顕微全反射吸収スペクトル測定装置においては、凹面主鏡2と凸面副鏡3よりなる反射対物光学系(カセグレン鏡)を有し、同光学系の集光点を中心とする半球状ATRプリズム4が圧接される試料7の裏面に金属板8を密着させて配置したもので、測定時にはATRプリズム4-試料7-金属板8の配置とし、金属8上の試料7にATRプリズム4を適宜の強さで密着させる。その結果、試料層を通って金属板(導体)に入射した光はその入射角に応じた振幅の定常波となり、試料との相互作用が大きくなって試料による吸収が増幅され、これが感度の増加に寄与する。

Claim (excerpt)：

凹面主鏡と凸面副鏡よりなる反射対物光学系を有し、同光学系の集光点を中心とする金属製の半球状ATRプリズムを備えた顕微全反射吸収スペクトル測定装置において、前記ATRプリズムが圧接される試料の裏面に金属板を密着させて配置したことを特徴とする顕微全反射吸収スペクトル測定装置。

IPC (2)：

G01N 21/27 , G01N 21/35

FI (2)：

G01N 21/27 C , G01N 21/35 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

顕微全反射吸収スペクトル測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-184552 Applicant：株式会社島津製作所
特開昭62-161041
減衰全反射プリズムを用いた赤外スペクトル測定法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-133370 Applicant：株式会社日立製作所

Show all

Return to Previous Page