表面検査方法および装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：森本義弘 , 笹原敏司 , 原田洋平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2008070506
Publication number (International publication number)：2009222683
Application date： Mar. 19, 2008
Publication date： Oct. 01, 2009
Summary：

【課題】検査対象物が積層構造であり、表面が透過性の有る光沢面であっても、表面の凹凸欠陥を検出することが可能な表面欠陥検査方法を提供する。【解決手段】照明部1から明暗が交互に存在する線状の光を検査対象物4に照射しその検査対象物4からの反射光をラインカメラ6により撮影して第1の原画像を得る。画像処理部8は、予め、表面に凹凸欠陥が存在しない基準物に照明部1からの光を照射しその基準物からの反射光を撮影して得た第2の原画像を記憶しており、これらの第1と第2の原画像を基に、検査対象物4の表面に存在する凹凸欠陥を検出する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検査対象物の表面に存在する凹凸欠陥を検出する方法であって、照射部から明暗が交互に存在する線状の光を前記検査対象物に照射しその前記検査対象物からの反射光を撮影して第1の原画像を得る工程と、前記第1の原画像と、予め表面に欠陥が存在しない基準物に前記照射部からの光を照射しその前記基準物からの反射光を撮影して得た第2の原画像とを基に、前記検査対象物の表面に存在する凹凸欠陥を検出する工程と、を具備することを特徴とする表面検査方法。

IPC (2)：

G01N 21/892 , G01B 11/30

FI (2)：

G01N21/892 A , G01B11/30 A

F-Term (33)：

2F065AA23 , 2F065AA48 , 2F065AA49 , 2F065AA58 , 2F065BB17 , 2F065BB22 , 2F065CC02 , 2F065FF04 , 2F065GG07 , 2F065GG14 , 2F065HH05 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL01 , 2F065LL28 , 2F065QQ04 , 2F065QQ25 , 2F065QQ34 , 2F065QQ43 , 2F065RR08 , 2G051AA32 , 2G051AA41 , 2G051AB07 , 2G051AB20 , 2G051BA20 , 2G051BB07 , 2G051BB17 , 2G051BB20 , 2G051CA03 , 2G051CB01 , 2G051EA11 , 2G051EA16 , 2G051EA23

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

表面検査装置及び表面検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-192267 Applicant：住友化学工業株式会社
表面欠陥検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-237958 Applicant：トヨタ自動車株式会社

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