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J-GLOBAL ID:200903028260519589

三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜及びその製造法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000043325
Publication number (International publication number):2001233615
Application date: Feb. 21, 2000
Publication date: Aug. 28, 2001
Summary:
【要約】【課題】 三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜及びその製造法を提供する。【解決手段】 テトラアルコキシチタンとエチレンオキサイドープロピレンオキサイドーエチレンオキサイドブロックコポリマーと安定化剤と溶剤からなるゾル溶液を基板の上に滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した規則正しく整列した三次元構造を有する有機無機複合TiO2薄膜を作成し、次いで高温で燒結することにより、ブロックコポリマーが除去されることにより形成される規則正しく整列した三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜を製造する。
Claim (excerpt):
テトラアルコキシチタンとエチレンオキサイドープロピレンオキサイドーエチレンオキサイドブロックコポリマーと安定化剤と溶剤からなるゾル溶液を基板の上に滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した規則正しく整列した三次元構造を有する有機無機複合TiO2薄膜を作成し、次いで高温で燒結することにより、ブロックコポリマーが除去されることにより形成される規則正しく整列した三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜。
F-Term (5):
4G047CA02 ,  4G047CB06 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G047CD07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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