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J-GLOBAL ID:200903028260519589
三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜及びその製造法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000043325
Publication number (International publication number):2001233615
Application date: Feb. 21, 2000
Publication date: Aug. 28, 2001
Summary:
【要約】【課題】 三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜及びその製造法を提供する。【解決手段】 テトラアルコキシチタンとエチレンオキサイドープロピレンオキサイドーエチレンオキサイドブロックコポリマーと安定化剤と溶剤からなるゾル溶液を基板の上に滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した規則正しく整列した三次元構造を有する有機無機複合TiO2薄膜を作成し、次いで高温で燒結することにより、ブロックコポリマーが除去されることにより形成される規則正しく整列した三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜を製造する。
Claim (excerpt):
テトラアルコキシチタンとエチレンオキサイドープロピレンオキサイドーエチレンオキサイドブロックコポリマーと安定化剤と溶剤からなるゾル溶液を基板の上に滴下し、基板を高速回転させ、溶剤を蒸発させ、ゲル化させることにより基板上に形成した規則正しく整列した三次元構造を有する有機無機複合TiO2薄膜を作成し、次いで高温で燒結することにより、ブロックコポリマーが除去されることにより形成される規則正しく整列した三次元構造を有するメソポーラスTiO2薄膜。
F-Term (5):
4G047CA02
, 4G047CB06
, 4G047CC03
, 4G047CD02
, 4G047CD07
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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酸化チタン多孔質薄膜光触媒及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-341563
Applicant:工業技術院長
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光触媒フィルター及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-341564
Applicant:工業技術院長
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特開平1-108161
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特開昭58-167428
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透明導電性酸化チタン膜及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-029198
Applicant:三洋電機株式会社
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