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J-GLOBAL ID：200903028404248780

放射線検出器および放射線検査装置

Inventor：
浮田 明宏

About 浮田 明宏


Applicant, Patent owner：
住友重機械工業株式会社

About 住友重機械工業株式会社


Agent (1)： 伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006035603
Publication number (International publication number)：2007212415
Application date： Feb. 13, 2006
Publication date： Aug. 23, 2007
Summary：
【課題】半導体検出素子の検出特性の劣化を抑制すると共に信頼性の高い放射線検査装置を提供する。【解決手段】半導体検出部20は、配線基板21と、配線基板21上に配置された半導体検出素子22と、半導体検出素子22に電気的に接続される検出信号用配線部23等からなり、配線基板21と半導体検出素子22とは、配線基板21の表面に設けられたパッド電極29と半導体検出素子22の第1電極部25とが導電性接着層28を介してその全面が固着される。半導体検出素子22からの検出信号を伝搬する検出信号用配線部23は、その可撓性のベースフィルム31に設けられたパッド電極32と、半導体検出素子22の第2電極部26の素子電極27とが導電性接着剤からなるバンプ30により接合される。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
配線基板と、 前記配線基板上に配置された放射線の入射により検出信号を生成する半導体検出素子と、 前記半導体検出素子から検出信号を取り出す検出信号用配線部と、を備える放射線検出器であって、 前記半導体検出素子は、板状の半導体結晶体と、該半導体結晶体の厚さ方向に直交し、配線基板側の平坦な第1の主面を略覆う第1の電極部と、該第1の主面とは反対側の第2の主面に、互いに離隔して配列された複数の素子電極からなる第2の電極部と、を有し、 前記配線基板はその表面にバイアス印加用電極を有し、該バイアス印加用電極と第1の電極部とが互いに対向する面が導電性接着層により固着され、 前記検出信号用配線部は可撓性支持部材とその表面に設けられた複数の信号用電極とを有し、該複数の信号用電極の各々と前記複数の素子電極の各々とが他の導電性接着層により固着されてなることを特徴とする放射線検出器。
IPC (2)：
G01T 1/161 ,  G01T 1/24
FI (3)：
G01T1/161 C ,  G01T1/161 A ,  G01T1/24
F-Term (11)：
2G088EE02 ,  2G088FF04 ,  2G088FF07 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ02 ,  2G088JJ03 ,  2G088JJ04 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ32 ,  2G088JJ33 ,  2G088JJ37
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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