感光性樹脂組成物及びそのパターン形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994158401
Publication number (International publication number)：1996022124
Application date： Jul. 11, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【構成】ポリアミド酸のカルボキシル基に単又は多官能の感光性基、更に低級アルコールを共有結合で導入したポリアミド酸エステルと、1気圧での沸点が220〜320°Cの溶媒及び1気圧での沸点が120〜220°Cの溶媒からなる感光性樹脂組成物。【効果】高沸点の溶媒と低沸点の溶媒を併用することにより、高感度でかつ基板上にコーティング後プリベーク時の加熱条件に左右されずに、ほぼ一定の残存溶媒量の皮膜を安定して得ることができる。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1a)、(1b)及び(1c)で示されるポリアミド酸エステルと【化1】(B)1気圧での沸点が220〜320°Cの溶媒及び(C)1気圧での沸点が120〜220°Cの溶媒を必須成分とすることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/038 501 , G03F 7/038 504 , C08L 79/08 LRB

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-341773 Applicant：住友ベークライト株式会社
特開平4-252227
放射線架橋可能な混合物および高温で安定なレリーフ構造の形成に使用する方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-126260 Applicant：ベー・アー・エス・エフラッケウントファルベンアクチェンゲゼルシャフト

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