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J-GLOBAL ID：200903028740783081

ハーフトーン型位相シフトフオトマスク

Inventor： 栗原正彰
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 小西 淳美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993323346
Publication number (International publication number)：1995152145
Application date： Nov. 30, 1993
Publication date： Jun. 16, 1995
Summary：

【要約】【目的】 比較的簡単で、短時間にて作製ができる、正規パターンの外周部に遮光性の帯を設けたハーフトーン型位相シフトフオトマスクを提供する。【構成】 ステップアンドレピート露光するための、投影露光用ハーフトーン型位相シフトフオトマスクであって、正規のパターンの外周部に幅1〜10mmの遮光性帯を設けてあるハーフトーン型位相シフトフオトマスク。

Claim (excerpt)：

感光性レジストを塗布したウエーハに、ステップアンドレピート露光するための、投影転写用のハーフトーン型の位相シフトフオトマスクであって、正規のパターンの外周部に所定幅の遮光帯を設けてあることを特徴とするハーフトーン型位相シフトフオトマスク。

IPC (2)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 528

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-136854
  
• 露光用マスク及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-278659   Applicant：富士通株式会社
• 露光用原図基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-148397   Applicant：日本電信電話株式会社