ネガ型感光性樹脂組成物

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：服部平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993198817
Publication number (International publication number)：1995036179
Application date： Jul. 19, 1993
Publication date： Feb. 07, 1995
Summary：

【要約】【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤、および色素を含有する感光性樹脂組成物において、前記色素が分子内に助色団として三級アミノ基を有してもよい色素である感光性樹脂組成物。【効果】上記感光性樹脂組成物を用いることにより、露光、PEB時の許容度が高く、かつ高感度であり、特にTFTパネル等の表示装置の製造時において視認性が良く、寸法安定性、密着性も良いのでエッチャントのしみ込みのない良好な感光性樹脂組成物を提供できる。

Claim (excerpt)：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤、架橋剤、および色素を含有する感光性樹脂組成物において、前記色素が分子内に助色団として三級アミノ基を有してもよい色素であることを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 505 , G03F 7/004 503 , G02F 1/1335 , G03F 7/029 , G03F 7/038 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

特開平4-178648
特開平3-229255
特開平4-163552

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