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J-GLOBAL ID：200903029168646783

ガス検出装置及びガス検出方法

Inventor： 田畑 総一 ,  檜垣 勝己 ,  佐々木 博一 ,  大西 久男 ,  小知和 眞一 ,  鈴木 卓弥
Applicant, Patent owner： 大阪瓦斯株式会社 ,  富士電機株式会社
Agent (1)： 北村 修一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002083074
Publication number (International publication number)：2003279520
Application date： Mar. 25, 2002
Publication date： Oct. 02, 2003
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、ダイアフラム様の支持基板上に、検出対象ガスの有無により電気抵抗値が変化する膜状酸化物、及び、膜状酸化物を加熱するための通電加熱体を形成したセンサ素子を用いて、数ppmから数ppbというような低濃度の揮発性有機化合物が空気中に存在することを高感度且つ簡単に検出することができるガス検出技術を提供することを目的とする。【解決手段】 通電加熱体への通電駆動の開始後、揮発性有機化合物に対する膜状酸化膜の検出感度が有意に得られる所定の経過時間範囲内の膜状酸化物の電気抵抗値を用いて、揮発性有機化合物の検出を行う。

Claim (excerpt)：

薄膜状の支持膜の外周部又は両端部が支持部材により支持されたダイアフラム構造の支持基板上に、検出対象ガスの有無により電気抵抗値が変化する膜状酸化物、及び、前記膜状酸化物を加熱するための通電加熱体を形成したセンサ素子と、前記膜状酸化物の温度が低温状態から高温状態に変化するように、前記通電加熱体を通電駆動する通電駆動手段と、前記膜状酸化物の温度が高温状態に変化したときの前記膜状酸化物の電気抵抗値に基づいて、前記検出対象ガスの有無を検出する検出部とを備えたガス検出装置であって、前記検出対象ガスを揮発性有機化合物とし、前記検出部が、前記通電駆動手段による前記通電加熱体への通電駆動の開始後、前記揮発性有機化合物に対する前記膜状酸化膜の検出感度が有意に得られる所定の経過時間範囲内の前記膜状酸化物の電気抵抗値を用いて、前記揮発性有機化合物の検出を行うガス検出装置。

F-Term (10)：

2G046AA18 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB03 ,  2G046BE01 ,  2G046DB05 ,  2G046FB00 ,  2G046FB02 ,  2G046FE38 ,  2G046FE39

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 薄膜ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-096270   Applicant：富士電機株式会社
• 薄膜ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-248629   Applicant：富士電機株式会社
• 薄膜ガスセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-096952   Applicant：富士電機株式会社