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J-GLOBAL ID：200903029187687024
有機電界発光素子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田澤 博昭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992137561
Publication number (International publication number)：1993315077
Application date： May. 01, 1992
Publication date： Nov. 26, 1993
Summary：
【要約】【目的】 この発明は、発光特性、電気特性、耐久性などにすぐれた有機電界発光素子の製造方法を得ることを目的とする。【構成】 この発明の有機電界発光素子の製造方法においては、有機発光層、キャリア輸送層および電極の成膜の際(共蒸着による場合を含む)に、少なくとも一つの膜(あるいは共蒸着に係る少なくとも一種の成膜物質)をイオンクラスタビーム法(ICB法)で成膜する。
Claim (excerpt)：
有機発光層を成膜する工程と、この有機発光層に接合する正孔輸送層を成膜する工程と、前記有機発光層に接合する電子輸送層を成膜する工程と、前記正孔輸送層に接合する陽極を成膜する工程と、前記電子輸送層に接合する陰極を成膜する工程を含む有機電界発光素子の製造方法において、上記の成膜工程の少なくとも一つをイオンクラスタービーム法により行うことを特徴とする有機電界発光素子の製造方法。
IPC (4)：
H05B 33/10
, H01L 29/28
, H01L 33/00
, H01L 21/203
