光吸収性反射防止体とその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：泉名謙治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997142644
Publication number (International publication number)：1998087348
Application date： May. 30, 1997
Publication date： Apr. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】単純な層構成で、充分な反射防止特性を発現する光吸収性反射防止体とその製造方法の提供。【解決手段】幾何学的膜厚5〜25nmでO/Ti(原子数比)=0.11〜0.33の酸窒化チタン膜と、幾何学的膜厚70〜130nmでシリカを主成分とする膜とが形成された光吸収性反射防止体。

Claim (excerpt)：

基体上に、基体側から、幾何学的膜厚が5〜25nmの酸窒化チタン膜と、幾何学的膜厚が70〜130nmのシリカを主成分とする膜とがこの順に形成され、シリカを主成分とする膜側からの入射光の反射を低減させる光吸収性反射防止体であって、前記酸窒化チタンにおける酸素のチタンに対する原子数比が0.11〜0.33であることを特徴とする光吸収性反射防止体。

IPC (5)：

C03C 17/34 , G02B 1/11 , H01J 9/20 , H01J 29/88 , H01J 29/89

FI (5)：

C03C 17/34 Z , H01J 9/20 A , H01J 29/88 , H01J 29/89 , G02B 1/10 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

光反射防止部材及びその作製方法、並びに陰極線管
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-262460 Applicant：ソニー株式会社
光吸収性反射防止体とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-108439 Applicant：旭硝子株式会社

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