有機溶剤型感光性レジスト組成物及びレジストパターン形成方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998312752
Publication number (International publication number)：2000137325
Application date： Nov. 04, 1998
Publication date： May. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】感光性レジスト組成物及びレジストパターン形成方法を提供する。【解決手段】分子中に下記した構成単位B-[X]n[Y]m-B(式中、Xは式【化6】、及びYは00CHN-A-NHCOO-(R2)-で表され、Aはポリイソシアネート化合物に由来する構造単位、Bは同一もしくは異なってそれぞれの分子末端に1個以上の光重合性不飽和基を有するエーテル結合を含有してもよいヒドロキシ化合物に由来する構造単位及びR1はカルボキシル基含有ポリオール化合物に由来する構造単位、R2はポリオール化合物に由来する構造単位を示す。nは1〜10整数及びmは1〜10の整数を示す。X及び/又はYが2個以上の場合にはX及び/又はYは1個のものが相互にもしくは複数個のものが相互に結合しても構わない。)を有する光重合性ポリウレタン化合物を含有することを特徴とする有機溶剤型感光性レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

分子中に下記した構成単位B-[X]n[Y]m-B(式中、Xは式【化1】、及びYは00CHN-A-NHCOO-(R2)-で表され、Aはポリイソシアネート化合物に由来する構造単位、Bは同一もしくは異なってそれぞれの分子末端に1個以上の光重合性不飽和基を有するエーテル結合を含有してもよいヒドロキシ化合物に由来する構造単位及びR1はカルボキシル基含有ポリオール化合物に由来する構造単位、R2はポリオール化合物に由来する構造単位を示す。nは1〜10整数及びmは1〜10の整数を示す。X及び/又はYが2個以上の場合にはX及び/又はYは1個のものが相互にもしくは複数個のものが相互に結合しても構わない。)を有する光重合性ポリウレタン化合物を含有することを特徴とする有機溶剤型感光性レジスト組成物。

IPC (7)：

G03F 7/027 513 , C08F299/06 , C08G 18/67 , G03F 7/20 505 , G03F 7/30 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (8)：

G03F 7/027 513 , C08F299/06 , C08G 18/67 , G03F 7/20 505 , G03F 7/30 , H05K 3/00 F , H05K 3/00 G , H01L 21/30 502 R

F-Term (138)：

2H025AA04 , 2H025AB15 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC51 , 2H025BC65 , 2H025BC66 , 2H025BC83 , 2H025BC85 , 2H025CC03 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H096AA26 , 2H096BA06 , 2H096EA04 , 2H096GA08 , 2H097AA03 , 2H097CA17 , 2H097FA02 , 2H097FA06 , 2H097JA03 , 2H097LA09 , 4J027AC04 , 4J027AE01 , 4J027AG04 , 4J027AG09 , 4J027AG13 , 4J027AG14 , 4J027AG15 , 4J027AG23 , 4J027AG24 , 4J027AG25 , 4J027AG27 , 4J027AG28 , 4J027AG33 , 4J027AG34 , 4J027AG36 , 4J027BA06 , 4J027BA17 , 4J027BA18 , 4J027BA19 , 4J027BA20 , 4J027BA21 , 4J027BA26 , 4J027BA28 , 4J027CA03 , 4J027CA04 , 4J027CA06 , 4J027CA08 , 4J027CA10 , 4J027CA25 , 4J027CA26 , 4J027CB03 , 4J027CB10 , 4J027CC04 , 4J027CC05 , 4J027CC06 , 4J027CD10 , 4J034CA03 , 4J034CA04 , 4J034CA05 , 4J034CA22 , 4J034CB03 , 4J034CB04 , 4J034CB05 , 4J034CB07 , 4J034CB08 , 4J034CC03 , 4J034CC12 , 4J034CC23 , 4J034CC26 , 4J034CC45 , 4J034CC52 , 4J034CC62 , 4J034CC65 , 4J034CD06 , 4J034CD09 , 4J034CD18 , 4J034DA01 , 4J034DB03 , 4J034DB07 , 4J034FA02 , 4J034FA04 , 4J034FB01 , 4J034FC01 , 4J034FC03 , 4J034FC04 , 4J034FC05 , 4J034FD01 , 4J034FD09 , 4J034FE04 , 4J034HA01 , 4J034HA02 , 4J034HA07 , 4J034HA08 , 4J034HA09 , 4J034HA18 , 4J034HB03 , 4J034HB08 , 4J034HB12 , 4J034HC02 , 4J034HC03 , 4J034HC09 , 4J034HC12 , 4J034HC13 , 4J034HC17 , 4J034HC18 , 4J034HC22 , 4J034HC26 , 4J034HC35 , 4J034HC45 , 4J034HC46 , 4J034HC52 , 4J034HC61 , 4J034HC64 , 4J034HC65 , 4J034HC67 , 4J034HC70 , 4J034HC71 , 4J034HC73 , 4J034JA01 , 4J034JA02 , 4J034JA14 , 4J034KA01 , 4J034KB02 , 4J034KC17 , 4J034KD02 , 4J034KE02 , 4J034LA01 , 4J034LA03 , 4J034LA05 , 4J034LA13 , 4J034LA23 , 4J034LA33 , 4J034QB11 , 4J034QC05 , 4J034RA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

光重合可能な乾燥フィルム組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-294576 Applicant：ハーキュリーズ・インコーポレーテッド
感光性樹脂組成物およびこれを用いた感光性ドライフィルム
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-211861 Applicant：東京応化工業株式会社
感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-135832 Applicant：日本合成化学工業株式会社

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