Pat
J-GLOBAL ID：200903029598390545

被検査物の欠陥情報収集方法

Inventor：
高木 裕治

About 高木 裕治

, 
磯部 光庸

About 磯部 光庸


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996092214
Publication number (International publication number)：1997281057
Application date： Apr. 15, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】被検査物の検査修正システム、特に、検出欠陥の欠陥情報の収集を図る。【解決手段】検査装置1に検出した欠陥の検出信号、画像およびそれに関連する情報を記録する情報記録手段1,16と、欠陥の被検査物上での位置情報および必要に応じて欠陥の属性を出力する情報出力手段を設け、欠陥指示装置では位置情報を基に検査員に実際の被検査物上で検査装置が検出した欠陥部位の提示手段と、提示された欠陥が実欠陥か虚報かの判別情報を入力する手段と、判別情報を出力する手段を設け、検査装置と欠陥指示装置の間で情報を授受できる手段を設ける。
Claim (excerpt)：
被検査物の検査装置と、検出した欠陥信号と少なくとも前記被検査物の識別情報、検出欠陥位置座標を項目として含む欠陥に関する付帯情報を記録する情報蓄積装置と、前記被検査物の任意の場所を目視検査員に提示可能な手段を有する欠陥指示装置とからなる被検査物の検査修正システムにおいて、前記検査装置と前記情報蓄積装置と前記欠陥指示装置とは互いに情報を送受信できる手段を具備し、前記検査装置から送信された前記欠陥に関する付帯情報を前記欠陥指示装置で受信し、前記欠陥に関する付帯情報に基づき前記欠陥指示装置により前記提示手段に提示された欠陥に対して検査員による判定情報を前記欠陥指示装置に具備された入力手段より入力し、前記入力情報を検出欠陥目視確認情報として前記情報蓄積装置に送信し、前記情報蓄積装置で受信した前記検出欠陥目視確認情報に基づいて該当する検出した欠陥信号と欠陥に関する付帯情報を保存不要として削除することを特徴とする被検査物の欠陥情報収集方法。
IPC (4)：
G01N 21/88 ,  G01N 21/84 ,  G06T 7/00 ,  G06F 17/40
FI (4)：
G01N 21/88 J ,  G01N 21/84 D ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/74 310 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (7)
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM