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J-GLOBAL ID：200903029600362066

露光装置および露光方法

Inventor： 原 正人 ,  小林 義則 ,  石橋 臣友
Applicant, Patent owner： ペンタックス株式会社
Agent (1)： 松岡 修平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001372335
Publication number (International publication number)：2003173029
Application date： Dec. 06, 2001
Publication date： Jun. 20, 2003
Summary：

【要約】【課題】 光源の性能が低下しても直ちに光源を交換する必要のない露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】 複数の発光部の中で予め定められている基準発光量で発光できない不良発光部を検出し、複数の発光部から照射された光を感光性基板上で走査させた場合に、感光性基板を一様な光量で露光できるように、不良発光検出段階で検出された不良発光部と異なる発光部の発光量を調整してから、光量調整段階で発光量を調整された複数の発光部から照射された光を感光性基板上で走査させる。

Claim (excerpt)：

複数の発光部と、感光性基板を露光するために前記複数の発光部から照射された光を前記感光性基板上で走査させる走査手段と、前記複数の発光部の中で予め定められている基準発光量で発光できない不良発光部を検出する不良発光部検出手段と、前記感光性基板を一様な光量で露光できるように、前記複数の発光部のうち、前記不良発光部と異なる発光部の発光量を調整する光量調整手段とを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 516 C

F-Term (8)：

2H097BB01 ,  2H097CA03 ,  2H097CA12 ,  2H097GA45 ,  5F046CB22 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 画像形成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-069875   Applicant：富士ゼロックス株式会社
• 露光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-200726   Applicant：日本電気株式会社
• 走査型露光装置および露光方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-210305   Applicant：キヤノン株式会社