炭素質ルツボの内面保護シート

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：梶良之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000293916
Publication number (International publication number)：2001261481
Application date： Sep. 27, 2000
Publication date： Sep. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】 SiOガスとの反応を抑制でき、かつ、単結晶引き上げ処理後に石英ルツボの取出が容易な石英ルツボを内挿する炭素質ルツボの内面を保護する内面保護シートを提供する。【解決手段】炭素繊維からなるシート状の炭素繊維加工品に樹脂を含浸して炭化してなるC/C材からなるシート状の炭素繊維加工品、また、炭素繊維からなるシート状の炭素繊維加工品に熱分解炭素を含浸若しくは被覆のいずれか或いはその両方をしてなるC/C材からなるシート状の炭素繊維加工品で、灰分量が50ppm以下で、曲率半径50mm以下に湾曲が可能なものを所定の形状に加工し、炭素質ルツボ内面に沿って介在させて保護シートとする。

Claim (excerpt)：

半導体単結晶引き上げ装置において、原料融液を収容する石英ルツボと、これが載置される炭素質ルツボの間に、前記炭素質ルツボに沿うように介在した炭素質ルツボの内面保護シートであって、前記保護シートが、炭素繊維強化炭素複合材からなる炭素質ルツボの内面保護シート。

F-Term (3)：

4G077CF10 , 4G077EG02 , 4G077PD11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

シリコン単結晶引き上げ装置及びこれに用いる引き上げ用容器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-166846 Applicant：東芝電興株式会社, 株式会社アクロス
半導体単結晶の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-105175 Applicant：コマツ電子金属株式会社
特開昭64-018986

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