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J-GLOBAL ID：200903029740782731

2次元光ヘテロダイン走査検出システム

Inventor：
佐藤 学

About 佐藤 学

, 
丹野 直弘

About 丹野 直弘


Applicant, Patent owner：
科学技術振興事業団

About 科学技術振興事業団


Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000084638
Publication number (International publication number)：2001272334
Application date： Mar. 24, 2000
Publication date： Oct. 05, 2001
Summary：
【要約】【課題】 直接スイッチングタイプの2次元イメージセンサにより、スイッチング素子を各光検出素子に直接高速に接続して、入射光量に応じた各電荷を直接読み取り、ビデオレートの画像測定を可能にする2次元光ヘテロダイン走査検出システムを提供する。【解決手段】 2次元光ヘテロダイン走査検出システムにおいて、半導体基板11上に作製されるアレイ状フォトダイオード12の画素配列と、この画素配列の信号電荷を順次読み出すMOSトランジスタ13,16を画素配列した2次元のアレイ状光検出器1と、この2次元光検出器1を高速に走査する走査部2と、前記2次元光検出器1からの出力信号を処理する検波回路3とを備え、光周波数がfだけ異なる2次元の光波が前記2次元光検出器1に入射すると、周波数fを有する2次元光強度分布がアレイ面に生じ、これより、出力端子に各画素での交流信号の大きさを時系列で出力する。
Claim (excerpt)：
2次元光ヘテロダイン走査検出システムにおいて、(a)半導体基板上に作製されるアレイ状光検出素子の画素配列と、該画素配列の信号電荷を順次読み出すスイッチング素子を画素配列した2次元光検出器と、(b)該2次元光検出器を高速に走査する走査部と、(c)前記2次元光検出器からの出力信号を処理する検波回路とを備え、(d)光周波数がfだけ異なる2次元の光波が前記2次元光検出器に入射すると、周波数fを有する2次元光強度分布がアレイ面に生じ、これより、出力端子に各画素での交流信号の大きさを時系列で出力することを特徴とする2次元光ヘテロダイン走査検出システム。
IPC (3)：
G01N 21/17 630 ,  G01B 11/24 ,  H04N 5/335
FI (4)：
G01N 21/17 630 ,  H04N 5/335 E ,  G01B 11/24 D ,  G01B 11/24 K
F-Term (38)：
2F065AA51 ,  2F065CC16 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG00 ,  2F065HH05 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL22 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065MM22 ,  2F065NN08 ,  2G059AA05 ,  2G059AA06 ,  2G059BB12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG06 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ22 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM20 ,  5C024EX41 ,  5C024EX42 ,  5C024EX51 ,  5C024GX03 ,  5C024GY31 ,  5C024JX03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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