合成石英ガラス製造用バーナー、合成石英ガラス製造装置および合成石英ガラス

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大垣孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997039404
Publication number (International publication number)：1998236835
Application date： Feb. 24, 1997
Publication date： Sep. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】バーナー本体の劣化を抑制し、かつ、バーナー本体へのスートの付着を抑制できる合成石英ガラス製造用バーナーの提供。【解決手段】バーナー本体12の合成炉の内部に突き出た部分の側面を覆い、かつ、バーナー本体12の先端外周部からガスの噴射方向に張り出したフード52を具えている。このフード52は、フードの張り出した部分20aを、バーナー本体12から離れるに従って外側に反り返って拡がった形状としてある。

Claim (excerpt)：

火炎加水分解法によって合成石英ガラスを製造するための合成炉の内部にガスを噴射する合成石英ガラス製造用バーナーにおいて、前記合成石英ガラス製造用バーナーを構成するバーナー本体の前記合成炉の内部に突き出した先端側の部分の側面を覆い、かつ、前記バーナー本体の先端外周部から前記ガスの噴射方向に張り出したフードを具えてなることを特徴とする合成石英ガラス製造用バーナー。

IPC (3)：

C03B 20/00 , C03B 8/04 , F23D 1/00

FI (3)：

C03B 20/00 , C03B 8/04 , F23D 1/00 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

石英ガラスの製造方法及びそれにより製造された石英ガラス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-330740 Applicant：株式会社ニコン
合成石英ガラス製造装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-307252 Applicant：株式会社ニコン
合成石英ガラスの製造装置およびそれを用いた製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-216130 Applicant：株式会社ニコン

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