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J-GLOBAL ID：200903029814246489

電子装置の表面信号操作用プローブ及びその製造方法

Inventor： 中山 喜萬 ,  秋田 成司 ,  原田 昭雄
Applicant, Patent owner： 中山 喜萬 ,  大研化学工業株式会社
Agent (1)： 三木 久巳
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999116939
Publication number (International publication number)：2000227435
Application date： Mar. 19, 1999
Publication date： Aug. 15, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 走査型プローブ顕微鏡に使用できる高分解能で高剛性・高曲げ弾性のプローブを実現し、高分解能の表面原子像を撮像する。また、高密度の磁気情報処理装置に使用できる高精度の入出力用プローブを実現する。【解決手段】 電子装置の表面信号操作用プローブは、ナノチューブ24と、このナノチューブ24を保持するホルダー2aと、ナノチューブ24の先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に固着させる固定手段から構成され、ナノチューブ24の先端部24aを探針として使用する。また、固定手段の一例としてコーティング膜29を形成する。中間部24cにもコーティング膜を形成すると、探針強度と分解能が増加する。ナノチューブにはカーボンナノチューブ(CNT)、BCN系ナノチューブ、BN系ナノチューブ等の一般のナノチューブを使用できる。

Claim (excerpt)：

ナノチューブ24と、このナノチューブ24を保持するホルダー2aと、前記ナノチューブ24の先端部24aを突出させた状態でその基端部24bをホルダー面に固着させる固定手段から構成され、前記先端部24aを探針として表面信号を走査することを特徴とした電子装置の表面信号走査用プローブ。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  C01B 31/02 101 ,  G11B 5/127

FI (6)：

G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G ,  G01N 37/00 Y ,  C01B 31/02 101 F ,  G11B 5/127 A ,  G11B 5/127 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• カーボンナノチューブを用いた陰極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-145556   Applicant：日本電気株式会社
• 電界放出型冷陰極装置、その製造方法及び真空マイクロ装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-249096   Applicant：株式会社東芝
• 記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-052363   Applicant：キヤノン株式会社
• 粒子状の電界放射材料を用いた電界放射体陰極の製造方法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-519011   Applicant：イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
• ナノチューブ、ナノチューブプローブ及びそれらの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-173106   Applicant：中山喜萬, 大研化学工業株式会社