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J-GLOBAL ID:200903030096986655
透過電子顕微鏡
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
井島 藤治
, 鮫島 信重
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004020893
Publication number (International publication number):2005216645
Application date: Jan. 29, 2004
Publication date: Aug. 11, 2005
Summary:
【課題】 広い観察領域の中で目的とする観察領域を短時間に自動的に見いだし、所望の透過電子顕微鏡像を取得することができる透過電子顕微鏡システムを実現する。【解決手段】 モンタージュ手法により、メッシュM全域で画像信号が得られたかどうかをコンピュータ5が判断する。コンピュータ5は、得られた画像に対して画像処理を施し、メッシュの中でどの位置に試料があるかを判断する。また、メッシュ全域と、コンピュータ5が判断した試料の位置の両者を重ねて俯瞰する画像をディスプレイ7に表示する。コンピュータ5は電子光学系を制御して倍率を高く変更する。この倍率は、試料の観察位置を詳細に観察するために適切な高い倍率であり、この倍率を変更した際、必要に応じて電子ビームのフォーカス調整がコンピュータ5の制御の下に自動的に行われる。その後、オペレータは、その試料の中で詳細な観察をすべき箇所をマウスによるクリックなどで指定する。【選択図】 図6
Claim (excerpt):
透過型電子顕微鏡の像倍率を第1の倍率に設定し、この倍率で観察対象の試料が部分的に載せられたメッシュを移動させて各視野の像を取得し、取得した多数の画像データをつなぎ合わせて、観察領域であるメッシュ全域の画像を表示させ、観察領域全域の像からより高い第2の倍率で観察すべき観察箇所を任意に指定できるように構成し、メッシュの移動や電子ビームの偏向により、指定された各観察箇所を自動的に順々に透過電子顕微鏡像の視野にして撮像し、第2の高い倍率で指定された観察箇所の像をディスプレイ上に表示し、あるいは、各試料箇所の画像データを記憶するように構成した透過型電子顕微鏡システム。
IPC (3):
H01J37/22
, H01J37/20
, H01J37/26
FI (5):
H01J37/22 501A
, H01J37/22 501H
, H01J37/22 502H
, H01J37/20 A
, H01J37/26
F-Term (6):
5C001AA08
, 5C001BB07
, 5C001CC01
, 5C033SS01
, 5C033SS02
, 5C033SS09
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
-
電子顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-212961
Applicant:株式会社日立製作所
-
走査電子顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-270928
Applicant:株式会社日立製作所, 日立計測エンジニアリング株式会社
Cited by examiner (6)
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電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2002-324463
Applicant:株式会社キーエンス
-
電子顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2000-212961
Applicant:株式会社日立製作所
-
特開平4-005539
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基板検査方法及び基板検査装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-335440
Applicant:アプライドマテリアルズインコーポレイテッド
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画像分類方法並びに観察方法及びその装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-120467
Applicant:株式会社日立製作所
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特開平4-005539
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