画像分類方法並びに観察方法及びその装置

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001120467
Publication number (International publication number)：2002310962
Application date： Apr. 19, 2001
Publication date： Oct. 23, 2002
Summary：

【要約】【課題】欠陥検査装置で検出された半導体ウェハの製造工程で発生した欠陥について、その欠陥部位の画像を高速に取得・自動分類することが可能な画像自動収集装置及び方法を提供する。【解決手段】半導体ウェハ上の複数個の観察部位の画像を自動で撮像し収集する画像収集装置において、該ウェハ上の複数個の観察部位の位置関係を基に、欠陥の撮像順とステージ移動速度を決定するスケジューリン部と、ステージの移動量をビーム偏向量にフィードバックするための制御部を設けることで、最適なルートで、かつ、ステージを移動させながら画像を撮像し収集することを可能とした。

Claim (excerpt)：

試料を載置したステージを移動させながら該ステージの位置情報と前記試料の撮像すべき複数の部位の位置情報とに基づいて走査型電子顕微鏡の電子ビームを制御して前記試料の撮像すべき複数の部位に順次照射し、前記ステージを移動させながら前記試料に照射した電子ビームにより前記試料から放射する2次電子を検出して前記試料の撮像すべき複数の部位のそれぞれの2次電子画像を得、該得たそれぞれの2次電子画像を分類することを特徴とする画像分類方法。

IPC (6)：

G01N 23/225 , G01N 21/956 , H01J 37/20 , H01J 37/22 502 , H01L 21/66 , H04N 7/18

FI (6)：

G01N 23/225 , G01N 21/956 A , H01J 37/20 D , H01J 37/22 502 H , H01L 21/66 J , H04N 7/18 B

F-Term (47)：

2G001AA03 , 2G001BA07 , 2G001CA03 , 2G001FA01 , 2G001FA06 , 2G001FA08 , 2G001GA04 , 2G001GA06 , 2G001HA13 , 2G001JA03 , 2G001JA07 , 2G001JA12 , 2G001KA03 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001PA03 , 2G001PA11 , 2G001PA30 , 2G051AA51 , 2G051AB02 , 2G051AC02 , 2G051AC21 , 2G051BA20 , 2G051BB03 , 2G051CA20 , 2G051CD07 , 2G051DA07 , 2G051EA12 , 2G051EA14 , 2G051EC01 , 4M106AA01 , 4M106BA02 , 4M106CA39 , 4M106CA41 , 4M106DB05 , 4M106DB21 , 4M106DJ04 , 4M106DJ21 , 5C001AA03 , 5C001CC04 , 5C054CA01 , 5C054CC01 , 5C054CG01 , 5C054EA05 , 5C054FC12 , 5C054FD07 , 5C054HA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

電子ビーム欠陥検査装置および欠陥検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-039849 Applicant：株式会社ニコン
画像自動収集装置およびその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-295017 Applicant：株式会社日立製作所
検査装置および検査方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-012726 Applicant：株式会社ニコン

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