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J-GLOBAL ID：200903081363779811

電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

Inventor：
松原 孝祐

About 松原 孝祐


Applicant, Patent owner：
株式会社キーエンス

About 株式会社キーエンス


Agent (2)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002324463
Publication number (International publication number)：2004006219
Application date： Nov. 07, 2002
Publication date： Jan. 08, 2004
Summary：
【課題】フレームレートの高速化を自動的にON/OFFして操作性を改善する。【解決手段】所定の像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し表示部にて表示可能であって、さらに表示部にて表示される観察像の画像描画に要する速度を高速化するフレームレート高速化機能を備える電子顕微鏡であって、観察像の画像に対する所定の操作が指示されたとき、自動的にフレームレート高速化機能を実行させ、一定時間以上観察像の画像に対する操作がないとき、自動的にフレームレート高速化機能を停止する。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
所定の像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、前記試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し表示部にて表示可能であって、さらに前記表示部にて表示される観察像の画像描画に要する速度を高速化するフレームレート高速化機能を備える電子顕微鏡であって、 観察像の画像に対する所定の操作が指示されたとき、自動的に前記フレームレート高速化機能を実行させ、一定時間以上観察像の画像に対する操作がないとき、自動的に前記フレームレート高速化機能を停止することを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (1)：
H01J37/22
FI (1)：
H01J37/22 502A
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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