Pat
J-GLOBAL ID:200903030219327651

板状プリズムを用いた分光方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 竹本 松司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000130354
Publication number (International publication number):2001311685
Application date: Apr. 28, 2000
Publication date: Nov. 09, 2001
Summary:
【要約】【課題】 微小領域の測定を行い、また、マッピング測定において、面分析を可能とし、測定操作の簡略化及び測定時間の短縮化する。【解決手段】 試料より大きな屈折率を有する板状プリズムの平面を試料表面に密着させ、板状プリズムに入射光を照射し、板状プリズムと試料の界面で反射された反射光を受光して反射スペクトルを測定し、反射スペクトルから吸収スペクトルを算出して試料を分析するものであって、試料と板状プリズムの接触面を測定領域として定め、接触面を合焦位置とすることによって一測定領域のみからの反射光を受光して、微小領域の測定を可能とする。
Claim (excerpt):
試料より大きな屈折率を有する板状プリズムの平面を試料表面に密着させ、板状プリズムに入射光を照射し、板状プリズムと試料の界面で反射された反射光を受光して反射スペクトルを測定し、反射スペクトルから吸収スペクトルを算出して試料を分析するものであって、試料と板状プリズムの接触面を測定領域として定め、接触面を合焦位置とすることによって一測定領域のみからの反射光を受光して、微小領域の測定を可能とすることを特徴とする板状プリズムを用いた分光方法。
IPC (2):
G01N 21/27 ,  G01N 21/35
FI (2):
G01N 21/27 C ,  G01N 21/35 Z
F-Term (12):
2G059AA01 ,  2G059DD12 ,  2G059DD13 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF03 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ06 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059MM20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

Return to Previous Page