画像生成ATR分光装置及びスペクトル吸収画像を得る方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998229721
Publication number (International publication number)：1999132941
Application date： Aug. 14, 1998
Publication date： May. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】従来の非画像生成ATR方法及び装置を用いて同量のデータを収集するシステムに比して、より高い速度とより優れた空間的分解能が得られる画像生成減衰全反射(ATR)分光装置及び方法を提供する。【解決手段】装置は、光源22と、光のスペクトル多重入射ビームを生じる光源に結合された干渉計22と、検査中のサンプル18と係合する接触領域20を含んだ内部反射素子(IRE)10と、フォーカルプレーンアレイ検出器32と、前面における入力ビームの入射角がIRE10の臨界角以上になるようにIRE10の後面を介して接触領域20に向けて焦点合わせするように位置した第1光学系26と、接触領域20から反射光を集光し、フォーカルプレーンアレイ検出器32上に反射光を結像させるように位置した第2光学系28とを含む。

Claim (excerpt)：

光源と、前面と後面とを有し、前記前面が検査中のサンプルと係合する接触領域を含んだ内部反射素子(IRE)と、フォーカルプレーンアレイ検出器と、前記前面での前記入力ビームの入射角が前記IREに対する臨界角以上となるように、前記IREの前記後面を介して、前記光源からの光を前記接触領域に差し向け、かつ、集光する手段と、前記接触領域から反射光を集光し、反射光を前記フォーカルプレーンアレイ検出器上に結像させる手段と、前記フォーカルプレーンアレイ検出器と前記光源との間を伝わる光を捕捉し、捕捉された光のスペクトル選択変調を実行するように結合された波長選択素子とを有する画像生成減衰全反射(ATR)分光装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

全反射測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-142134 Applicant：日本分光株式会社
エバネセント波侵入長の波長分散補正光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-236439 Applicant：株式会社日立製作所
表面プラズモン顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-043639 Applicant：理化学研究所

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