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J-GLOBAL ID：200903030242749350

アライメントセンサ、アライメントセンサシステム、イメージ回転形干渉計及びアライメントマーク検出方法

Inventor：
ジャスティン エル クルーザー

About ジャスティン エル クルーザー


Applicant, Patent owner：
エスヴイジー リトグラフイー システムス インコーポレイテツド

About エスヴイジー リトグラフイー システムス インコーポレイテツド


Agent (1)： 矢野 敏雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001121418
Publication number (International publication number)：2001358068
Application date： Apr. 19, 2001
Publication date： Dec. 26, 2001
Summary：
【要約】【課題】 半導体デバイスの製造に使用されるリソグラフィシステムにおける改善されたアライメントセンサないしアライメントセンサシステム等のアライメント技術を提供すること【解決手段】 アライメント照明源を有し、前記アライメント照明源により照明された対称アライメントマークからの電磁放射を受信するイメージ回転形干渉計を有し、イメージ回転形干渉計からの電磁放射を受信する検出器を有し、それにより、対称アライメントマークのセンタロケーションの位置が求められるように構成されていることを特徴とするアライメントセンサ
Claim (excerpt)：
アライメントセンサが、アライメント照明源を有し、前記アライメント照明源により照明された対称アライメントマークからの電磁放射を受信するイメージ回転形干渉計を有し、イメージ回転形干渉計からの電磁放射を受信する検出器を有し、それにより、対称アライメントマークのセンタロケーションの位置が求められるように構成されていることを特徴とするアライメントセンサ。
IPC (4)：
H01L 21/027 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/00 ,  G03F 7/20 521
FI (7)：
G01B 9/02 ,  G01B 11/00 D ,  G01B 11/00 G ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 525 W
F-Term (40)：
2F064AA01 ,  2F064CC10 ,  2F064EE10 ,  2F064GG00 ,  2F064GG02 ,  2F064GG13 ,  2F064GG18 ,  2F064GG20 ,  2F064GG22 ,  2F064GG38 ,  2F064GG39 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065BB01 ,  2F065BB28 ,  2F065CC02 ,  2F065CC19 ,  2F065EE00 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH09 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ22 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL35 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM02 ,  2F065PP12 ,  5F046EA09 ,  5F046FA09 ,  5F046FC04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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