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J-GLOBAL ID:200903030247815831
高感度圧電素子
Inventor:
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,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (2):
白崎 真二
, 阿部 綽勝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2004241495
Publication number (International publication number):2006058180
Application date: Aug. 20, 2004
Publication date: Mar. 02, 2006
Summary:
【課題】 本発明の目的は、単純な構造でありながら機械的信号を電気的信号に変換する際の感度を飛躍的に向上させることができる圧電素子を提供すること。【解決手段】 基板1、圧電体層2、及び電極層3等からなる圧電素子を湾曲状に形成した。 湾曲した形状としては、任意の曲率を有する凸形状、又は任意の曲率を有する凹形状とすることができる。 また、基板1の両面に圧電体層2や電極3を形成すれば、実質的に圧電素子が2個設けられることになるため、圧電素子の感度を更に向上することができる。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
湾曲した基板と、湾曲した圧電体層と、湾曲した電極層とを有することを特徴とする圧電素子。
IPC (3):
G01L 1/16
, H01L 41/08
, H01L 41/187
FI (6):
G01L1/16 B
, G01L1/16 C
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101B
, H01L41/18 101C
, H01L41/18 101D
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
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センサ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平11-078581
Applicant:東海ゴム工業株式会社
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圧電検出器及びその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-301501
Applicant:松下電器産業株式会社
Cited by examiner (8)
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力センサー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-057878
Applicant:東海ゴム工業株式会社
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耐久性に優れた一体型圧電/電歪膜型素子およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2001-119303
Applicant:日本碍子株式会社
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特許第2909532号
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